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本发明涉及一种微机械CMOS热电堆红外测温传感器，其特征在于：它采用桥式结构，包括硅衬底和设置在硅衬底上的微桥，热电堆热端位于微桥中心区域，冷端位于硅衬底热沉之上，微桥中心区域的传感器光敏区悬浮设置在硅衬底被刻蚀后形成的空腔之上，微桥包括由...
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