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一种基于氮化镓材料的单异质结声电荷输运延迟线制造技术
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下载一种基于氮化镓材料的单异质结声电荷输运延迟线的技术资料
文档序号:6668049
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本实用新型公开了一种基于氮化镓材料的单异质结声电荷输运延迟线,包括基片,其特征在于:所述基片上设有氮化镓半绝缘型衬底,所述氮化镓半绝缘型衬底上设有氮化镓铝势垒层,所述氮化镓半绝缘型衬底两端有可以构成声表面波叉指换能器的金属图案,所述氮化镓铝...
该专利属于苏州英诺迅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州英诺迅科技有限公司授权不得商用。
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