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半导体晶片无接触式厚度自动测量系统技术方案
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文档序号:6667919
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本实用新型提供一种半导体晶片无接触式厚度自动测试系统,包括:信号传感模块,其包括:测试平台,分别置于测试平台上下两侧的两个传感器,以及置于测试平台下方的光电传感器;信号处理运算模块,包括:信号处理模块,模数转换模块,微处理器,步进电机驱动,...
该专利属于上海星纳电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海星纳电子科技有限公司授权不得商用。
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