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本发明提供一种用于移除真空涂覆用反应器内部的金属污染物及/或金属氧化物污染物的方法，所述方法包括以下步骤：a)通过沉积涂层来执行空闲涂覆步骤，其中所述涂层包含硅；b)至少部分地移除所沉积的涂层。根据本发明的方法特别适用于在太阳能电池制造中对...
该专利属于欧瑞康太阳能(处贝区市)公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康太阳能(处贝区市)公司授权不得商用。

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