【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及反应器中的污染物移除的领域。具体而言，本专利技术涉及一种用于处理 室、特别是用于形成光伏装置的真空沉积室的清洁工艺。
技术介绍
光伏装置或太阳能电池分别为将光、特别是太阳光转换成电能的装置。为实现低 成本的大规模生产，薄膜太阳能电池已受到关注，这是因为其允许使用玻璃、玻璃陶瓷或其 他刚性或挠性基板代替晶体硅或多晶硅来分别作为基底材料或基板。对于薄膜太阳能电 池，可设置一系列薄的、经局部掺杂的硅或硅合金薄膜，并将其夹置在载体基板(例如玻 璃、塑料或钢)上的透明导电电极之间。目前，可商购获得各种太阳能电池技术。可在低温下大规模地处理此种电池是此 种技术的主要优点。太阳能电池结构或层序列负责产生或能够产生光伏效应。可利用例如PVD、CVD、 PECVD、及/或APCVD等已知的真空沉积技术将各个层沉积为薄层，这些沉积技术均可用于 半导体技术中。传统的薄膜太阳能电池通常包括沉积于基板上的透明电极层(也称为前电极)。 在此第一电极层的顶上，通常沉积有光电转换半导体层以及后电极层，光电转换半导体层 是由非晶硅薄膜及/或微晶硅薄膜形成。所述后电极还可包括透明导电...
【技术保护点】
１．一种用于移除真空涂覆用反应器内部的金属污染物及／或金属氧化物污染物的方法，所述方法包括以下步骤：ａ）通过沉积涂层来执行空闲涂覆步骤，其中所述涂层包含硅；以及ｂ）至少部分地移除所述所沉积的涂层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：P·罗希欧，O·克卢斯，J·卡拉斯，
申请(专利权)人：欧瑞康太阳能处贝区市公司，
类型：发明
国别省市：CH
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