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本实用新型提供了一种用于金属有机物化学气相沉积的真空处理系统，包括：具有若干个密封门的传输室，其内部设置有第一传输装置；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的真空锁，其用于连接所述传输室和外界大气环境；与所述若干个密封门中的至少一个相连接的...
该专利属于中微半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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