下载可溶性聚酰亚胺的生产工艺的技术资料

文档序号:6663944

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本发明公开了一种可溶性聚酰亚胺的生产工艺,它包括聚酰胺酸溶液的配制、P型硅衬底的清洗、P型硅衬底的氧化、蒸镀含硅的铝电极等步骤。由于本发明用均苯二酐PMDA不经过二酐,直接和二苯醚二胺ODA聚合得到聚酰亚胺,与通常采用聚酰亚胺与其他材料混合...
该专利属于兰州大学所有,仅供学习研究参考,未经过兰州大学授权不得商用。

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