下载一种生产三氯氢硅的反应器的技术资料

文档序号:6661373

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本实用新型提供了一种生产三氯氢硅的反应器,其特征在于,该反应器包括筒状主体和沿该筒状主体的轴向间隔设置在该筒状主体内的第一隔板和第二隔板,所述筒状主体上开设有第一开口、第二开口、第三开口和第四开口,第二开口和第三开口位于第一开口和第四开口之...
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