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提供一种工件贴合装置，能够向工件表面放射粒子而进行改性，将两片工件层叠，加压(或加热)而贴合。将第1工件(W1)载放并吸附保持到反转台单元(30)的反转台(31)上，并且将第2工件(W2)载放到加压台单元(20)的工件台(21)上，例如从光...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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