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一种提高电流密度的P型绝缘体上硅横向器件制造技术
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文档序号:6656350
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一种提高电流密度的P型绝缘体上硅横向器件,包括:N型半导体衬底,在半导体衬底上设有埋氧层,在埋氧层上设有N外延层,在N外延层上面设有N型漂移区与N阱区,在N阱区表面设有P型源区和N型接触区,在P型漂移区上设有P型缓冲区,N型漏区,在N外延的...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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