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一种机械手臂表面金属污染检测方法，所述方法包括：机械手臂表面金属成分取样装置的制备；容量瓶的准备及清洗；清洗溶剂的煎蘸；机械手臂表面擦拭；机械手臂表面金属成分的提取；机械手臂表面金属污染检测。其中，所述取样装置包括握持部和固定在握持部一端的...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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