下载一种坩埚缺陷检测方法的技术资料

文档序号:6648623

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本发明公开了一种坩埚缺陷检测方法,采用脉冲反射式检测,给待测坩埚发射持续时间很短的电脉冲,激励探头发射脉冲超声波,并接受在样品中反射回来的脉冲信号,通过检测信号的返回时间和幅度做出判断。本方法精确度高、产品检出率高、保证了产品的合格率。...
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