下载砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管及其制备方法的技术资料

文档序号:6643005

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本发明是一种砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管,其特征在于:所述的石英玻璃管的管壁由区别掺杂原素的二氧化硅材料制成的外壁层和内壁层构成。本发明还公开了上述双料壁石英玻璃管的制备方法。本发明双料壁石英玻璃管原料组合更为合理,它可以大幅度的改善石...
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