下载非球面物体测量方法和设备的技术资料

文档序号:6642402

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本发明公开了一种非球面物体测量方法和设备。为了获得非球面透镜(9)的第一和第二透镜表面(91,92)的几何数据,第一和第二干涉仪(1A,1B)分别测量来自第一表面和第二表面的反射波前。第一和第二透镜表面的几何数据每一个都由Zernike多项...
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