非球面物体测量方法和设备技术

技术编号:6642402 阅读:205 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种非球面物体测量方法和设备。为了获得非球面透镜(9)的第一和第二透镜表面(91,92)的几何数据,第一和第二干涉仪(1A,1B)分别测量来自第一表面和第二表面的反射波前。第一和第二透镜表面的几何数据每一个都由Zernike多项式近似表示,以确定Zernike多项式的第二和第三项系数(Z1,Z2)的值。根据所述几何数据计算第一透镜表面相对于第一干涉仪的第一光轴(L1)的顶点偏心值和第二透镜表面相对于第二干涉仪的第二光轴(L2)的顶点偏心值。第一和第二透镜表面的第一和第二系数以及顶点偏心值用于计算第一透镜表面相对于第一光轴的位移量和倾斜量以及第二透镜表面相对于第二光轴的位移量和倾斜量,以确定第一透镜表面相对于第二透镜表面的轴偏和倾斜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于测量诸如在数码相机和光学传感器的许多种光学装置中使用的非球面物体或元件(例如,非球面透镜或双非球面镜)以检测非球面物体的前表面与后表面(第一样本表面和第二样本表面)之间的未对准的方法和设备。
技术介绍
当非球面透镜通过模制形成时,模制的透镜有时可能会由于与模具的相对位置的偏移而遇到该透镜的相对表面之间未对准的情况。所述未对准可以包括轴偏(非球面透镜的一个表面的旋转轴线与另一个表面的旋转轴线的偏移)和倾斜(一个表面的旋转轴线相对于另一个表面的旋转轴线的倾斜)。由于模具机构,无法完全防止透镜未对准,但理想的是将模具设计和校正成将透镜的未对准减少到最小,这是因为未对准将增加模制的非球面透镜的像差,尤其是旋转不对称像差。为此,重要的是精确地测量模制透镜的轴偏和倾斜的实际量。在公知的测量非球面透镜的相对的透镜表面之间的相对轴偏和倾斜的方法中,具有接触探头的几何结构测量设备用于测量两个透镜表面中的每一个的几何结构,以便根据测量的几何结构确定相对轴偏和倾斜。然而,该传统方法具有的问题在于对于一个透镜的测量需要耗费多于几个小时的时间。最近在JPA 2007-033343中已经本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用第一干涉仪(1A)和第二干涉仪(1B)测量非球面物体(9)的第一样本表面(91)相对于所述非球面物体的第二样本表面(92)的轴偏和倾斜的方法,其中所述第一样本表面为旋转对称的非球面,而所述第二样本表面为旋转对称的非球面或球面,并且所述第一干涉仪和所述第二干涉仪相对于彼此的相对位置被确定,所述方法包括以下步骤:沿着所述第一干涉仪的第一测量光轴(L1)将第一测量光束投射到所述第一样本表面上,以捕捉第一干涉条纹的图像数据,所述第一干涉条纹由从所述第一样本表面反射的所述第一测量光束的第一反射波前与所述第一干涉仪的第一基准波前之间的光学干涉生成;沿着所述第二干涉仪的第二测量光轴(L2)将第二...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙萍葛宗涛
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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