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晶片的加工方法技术
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文档序号:6641819
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本发明提供了一种晶片的加工方法,在进行切割、其后拾取的工序中,将切割用表面保护片贴附于晶片表面,且与晶片一起切断,从而防止由切削碎屑等粉尘等的附着导致污染晶片表面,而且在切割工序之后,可以拾取芯片而不会在芯片上产生破裂、缺口。在将切割用表面...
该专利属于日东电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日东电工株式会社授权不得商用。
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