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利用可变孔隙来进行的离子注入法以及离子注入机制造技术
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下载利用可变孔隙来进行的离子注入法以及离子注入机的技术资料
文档序号:6639745
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一种具有可变孔隙的孔隙调整装置,用以先改变离子束形状,特别是在衬底附近改变离子束的最终形状,然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此,衬底的不同部分或是不同的衬底,可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下...
该专利属于汉辰科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过汉辰科技股份有限公司授权不得商用。
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