汉辰科技股份有限公司专利技术

汉辰科技股份有限公司共有48项专利

  • 本校正系统与本校正方法使用至少一摄像机,在真空或大气环境中对腔体内或设备中具有一或多特征的目标组件进行位置
  • 本发明一般涉及离子注入,更具体地,涉及用于调整离子注入系统的带状光束角度的系统和方法。示例性离子注入系统包括被配置为产生带状光束的离子源、被配置为在由带状光束注入期间夹持晶片的晶片夹头、布置在所述离子源和所述晶片夹头之间的偶极磁体、和控...
  • 本发明提出一种机械手臂及一种离子布植装置,所述机械手臂包含第一臂、第二臂、第三臂、垂直臂及晶圆固持器。所述第一臂、第二臂及第三臂的长轴方向垂直于Z轴方向。所述第二臂的前端枢接于第一臂的后端。所述第三臂的前端枢接于第二臂的后端。所述垂直臂...
  • 本公开总体上涉及离子注入,并且更具体地,涉及用于测量离子注入系统内的晶圆的温度的系统和方法。一种示例性的离子注入系统可包括机械手臂、一个或多个负载锁定腔室、注入前站、离子注入机、注入后站和控制器。所述注入前站被配置成在通过所述离子注入机...
  • 本发明提出一种混合磁铁结构,其包含相对配置的两个二极磁铁组件,每个二极磁铁组件包含一永久磁铁、二铁芯以及一可活动磁场分流元件。此混合磁铁结构可透过在带电粒子束的水平或垂直方向上施加一可调变的梯度磁场大小来对不同位置的带电粒子束进行聚焦。...
  • 一种光源检测设备包含多个光纤、感光模块以及处理模块。每一个光纤经光输入端接收来自每一个光源的光线并输出至光输出端。感光模块包含一电路板、多个感光元件、一挡光结构、以及一转换电路。每一个感光元件接收来自每一个光输出端的光线并产生对应的一光...
  • 一种馈通装置,包括具有至少一个导线孔洞的一中介板,在此每一个导线孔洞都可以让至少一导线自中介板的一侧贯穿通过其间而抵达中介板的另一侧,也都可以再有一个由绝缘材料所形成弹性垫子位于其中并且隔离开中介板与通过此导线孔洞的至少一导线,并且每一...
  • 本发明提出一种清理离子布植机内部氟化表面的方法,包括以下步骤:在离子布植机内部提供含硼离子束的离子束来源;以及将所述含硼离子束自所述离子束来源传送到具有氟化表面的内部元件,藉以使得所述含硼离子束被引导到所述氟化表面。通过布植硼离子束,特...
  • 本案提出一种离子植入机。所述离子植入机用以处理一工件,所述离子植入机包含负载模组、处理模组以及真空传输模组。所述处理模组包含摄像机以及晶圆卡盘,摄像机位于晶圆卡盘的上方并具有影像撷取范围,晶圆卡盘位于影像撷取范围中。所述真空传输模组耦接...
  • 本发明提供偏压电压到组件(例如法拉第杯)来减少颗粒产生并且阻止颗粒自组件剥离,颗粒可以是布植离子及/或布植离子与组件材料的结合。偏压电压的强度必须没有明显地影响晶圆的离子布植,也必须明显地阻止自偏压组件发射的辐射及/或电子。如何提供与调...
  • 本发明提出三种方式来处理氟化表面,其为离子布植机内部不可忽略的问题,并且在低能量含氟离子束被布植到碳表面及/或硅表面时会变得更严重。第一,引导氢气及/或含氢离子(原子的及/或分子的)到含氟表面,藉以使得氟键结被氢键结所取代,并进而让含氟...
  • 提出的真空夹套管可以在低温度转移下传送高温或低温流体,特别是传送高温或低温流体通过弹性结构。此真空夹套管包含围绕着流体被传送通过的管线的管状结构。此外,管状结构与管线间的空间可以被抽真空。藉此,被转移进入及/或离开流体的热可以被极小化,...
  • 公开了离子植入系统和工艺。示范性的离子植入系统可以包括离子源、提取操纵器、磁分析仪以及电极组件。提取操纵器可以构造为通过从离子源提取离子而生成离子束。所生成的离子束的截面具有长维度以及与离子束的长维度正交的短维度。磁分析仪可构造为沿着平...
  • 本校正系统与本校正方法使用至少一摄像机,在真空或大气环境中对腔体内或设备中具有一或多特征的目标组件进行位置、角度、形状或距离等特征的辨识及计算,藉以达成校正与精准定位的目的。本发明或是测量目标组件本身的一或多种特征的特征消息及其变化,或...
  • 本发明公开了一种监测晶圆电荷的装置与方法。一导电针、一导电弹簧和一导电线被串联地配置而连接晶圆背表面以及样本导体进而使得晶圆背表面与样本导体表面具有相等的电荷密度。因此,可借用位置靠近样本导体表面的静电传感器来监测晶圆上的电荷。注意出现...
  • 本发明公开了一种离子束布植的方法。该方法提供一种使用多重几何方向的离子束以产生一倾斜角度范围的离子布植方法。该倾斜角度范围可以定义为指定在这个倾斜角度范围的剂量分布。这个方法包含:获得离子布植参数,决定曝光步骤的次数,选择相对应于曝光步...
  • 监测晶圆与吸盘相对关系的装置与方法
    用来监测晶圆与吸盘相对关系的装置与方法,特别是用来在晶圆未被固持时监测晶圆是否黏附在吸盘的装置与方法。当晶圆未被固持时,顶针可以延伸到吸盘外部而分离晶圆与吸盘。藉由侦测未被固持的晶圆与吸盘中间的电容,特别是藉由比较侦测到电容与晶圆被吸盘...
  • 清洁静电吸盘的方法
    一种清洁静电吸盘的方法。在静电吸盘并未固持任何工件于其工作表面时,传输离子束至静电吸盘的工作表面,借以通过离子束与工作表面上沉积物的相互作用,像是物理性轰击及/或化学性结合,将沉积物自静电吸盘工作表面移除。借此,在静电吸盘并未固持工件时...
  • 离子植入系统和工艺
    公开了离子植入系统和工艺。示范性的离子植入系统可以包括离子源、提取操纵器、磁分析仪以及电极组件。提取操纵器可以构造为通过从离子源提取离子而生成离子束。所生成的离子束的截面具有长维度以及与离子束的长维度正交的短维度。磁分析仪可构造为沿着平...
  • 低温离子注入方法
    本发明提供了可增进低温离子注入的产量的技术。在低温离子注入时,注入程序可在冷却程序使衬底温度降至大约为一预定注入温度前开始,而加热程序可在注入程序完成前开始升高衬底的温度。此外,可在注入程序中一部分期间或多个部分期间进行一或多个温度调整...