下载一种硅单晶生长炉的技术资料

文档序号:6636794

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本实用新型公开了一种硅单晶生长炉,包括炉筒和设在炉筒内部的坩埚和导流筒,坩埚的外侧设有保温桶,保温桶的外圆与炉筒的内筒壁接触,保温桶的上方放置有盖板,导流筒设于坩埚的上方并支在盖板上,其特征在于:所述盖板的上方放置有密封圈,密封圈贴紧在盖板...
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