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本实用新型公开了一种硅单晶生长炉,包括炉筒和设在炉筒内部的坩埚和导流筒,坩埚的外侧设有保温桶,保温桶的外圆与炉筒的内筒壁接触,保温桶的上方放置有盖板,导流筒设于坩埚的上方并支在盖板上,其特征在于:所述盖板的上方放置有密封圈,密封圈贴紧在盖板...该专利属于浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硅单晶生长炉,包括炉筒和设在炉筒内部的坩埚和导流筒,坩埚的外侧设有保温桶,保温桶的外圆与炉筒的内筒壁接触,保温桶的上方放置有盖板,导流筒设于坩埚的上方并支在盖板上,其特征在于:所述盖板的上方放置有密封圈,密封圈贴紧在盖板...