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一种立式超精密液体静压电主轴系统技术方案
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文档序号:6614368
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一种立式超精密液体静压电主轴系统,它涉及一种静压电主轴系统。本实用新型为了解决现有的超精密加工机床中,其主轴系统刚度低,电机和主轴间的动力驱动效果差的问题。本实用新型的轴套上开设环形凹槽,轴套上开设多个轴向回路和多个径向回路,多个轴向回路和...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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