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本发明提供一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器，其特征在于：将金属加热电极掩埋在谐振腔内进行加热调谐。与腔外加热结构相比，本发明的腔内加热结构能减少热量发散到空气或基底中，具有调谐功耗低、调谐速率快的特点；与半导体加热电极相比，金属加...
该专利属于黄辉;渠波所有，仅供学习研究参考，未经过黄辉;渠波授权不得商用。

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