一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器制造技术

本发明专利技术提供一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器，其特征在于：将金属加热电极掩埋在谐振腔内进行加热调谐。与腔外加热结构相比，本发明专利技术的腔内加热结构能减少热量发散到空气或基底中，具有调谐功耗低、调谐速率快的特点；与半导体加热电极相比，金属加热电极具有电阻值稳定、发热效率高的特点。本发明专利技术的可调谐滤波器具有稳定性高、功耗低和调谐速度快的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种可调谐光学滤波器，可用于光通信和光传感等领域。
技术介绍
可调谐光学滤波器在光纤通信和光传感领域有着重要的应用，其中Fabry-Perot (法布里-珀罗)滤波器(以下简称“FP滤波器”) 具有低成本、可集成、窄线宽、高精度的特点。FP滤波器的调谐方式主要包括微机械调谐、电光调谐和热光调谐等。其中微机械滤波器由于不是全固态结构、稳定性较差；电光调谐的调谐速率快(纳秒量级)、功耗低，但是调谐范围则很窄(一般<2nm)；热光调谐则有全固态、稳定性好以及调谐范围大的优势，但是调谐速率较慢(毫秒量级)。FP滤波器的热光调谐机理是通过加热改变谐振腔内物质的温度、进而改变其折射率，实现谐振腔的有效腔长和谐振波长的改变。目前，热光调谐的FP滤波器， 其加热电极通常位于谐振腔上表面、或置于谐振腔底部.这种腔外加热方式，所产生的热量易于发散到空气或基底中，因此热调谐的能量利用效率不高；并且热量由腔外传导到腔内需要额外的时间，也降低了调谐速率。但是对于光通信和光传感系统，往往需要器件能高速和低功耗工作。我们曾经利用腔内加热的方式进行调谐，即加热电极位于谐振腔内部 0由于该器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种腔内掩埋金属加热电极的可调谐光学滤波器，其特征在于：将金属加热电极掩埋在Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ（ＦＰ）谐振腔内进行加热调谐。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄辉，渠波，
申请(专利权)人：黄辉，渠波，
类型：发明
国别省市：91