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本发明公开了一种可限位锁止的静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。为克服现有技术中静电驱动微夹持器存在不带限位锁止功能、不能离线工作等缺点，本发明提出的可限位锁止的静电驱动微...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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