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四氯化硅氢化炉U形发热体及其制造工艺，本发明之四氯化硅氢化炉U形发热 体由坯体、基体和表面碳化硅涂层构成，所述坯体由二维碳纤维织物叠层或准三维 针刺碳纤维毡体构成，重量不低于产品总重量的50％；所述基体由浸渍碳和化学气 相沉积碳组成，其中化...该专利属于蒋建纯;张弛;张新万;吕国平;陈志军;蒋立志所有，仅供学习研究参考，未经过蒋建纯;张弛;张新万;吕国平;陈志军;蒋立志授权不得商用。