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本发明提供一种化学气相沉积系统，其包括进气装置、抽气装置以及连接于进气装置与抽气装置之间的反应器，该反应器内设置有用于放置基底的载具，该反应器内位于进气装置与抽气装置之间设置多个隔板，每一隔板均具有至少一个通孔，相邻两个隔板间的通孔相互错开...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。