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一种减薄划片废水的回用工艺和系统技术方案
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文档序号:6559136
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本发明利用膜分离技术处理硅片减薄划片废水,将废水中的单晶硅浓缩回收,其中膜透过液作为混床进水回用到生产工艺上。根据本发明的一种硅片减薄划片废水处理方法,包括先采用精密过滤器所述硅片减薄划片废水,再采用中空纤维超滤装置进行处理,获得超滤透过液...
该专利属于浙江东洋环境工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江东洋环境工程有限公司授权不得商用。
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