下载透明光掩模的制备方法的技术资料

文档序号:6558447

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本发明提供一种透明光掩模的制备方法,其包括以下步骤,首先,提供一透明基板,其包括第一表面与第二表面。其次,将一参照板贴附于并完全覆盖该第一表面,该参照板上设有定位基点。以参照板上的定位基点为基准于该第二表面上贴附一层图案化光掩模。该透明光掩...
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