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本发明提供一种湿制程系统,其包括至少一个湿处理装置、至少一个感应器及至少一个控制器;所述感应器用于感应待湿处理物体是否通过所述湿制程系统,并向控制器发出信号;所述控制器与湿处理装置及感应器电连接,用于接收感应器发出的信号,并根据该信号控制湿...该专利属于富葵精密组件(深圳)有限公司;鸿胜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富葵精密组件(深圳)有限公司;鸿胜科技股份有限公司授权不得商用。