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正性光敏树脂组合物制造技术
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文档序号:6550000
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本发明提供了一种正性光敏树脂组合物,包括:(A)聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)聚酰胺酸酯化合物;以及(E)溶剂。该正性光敏树脂组合物可以减少膜收缩,具有高感光度、高分辨率、以及极好的残留物去除性能,并且可以...
该专利属于第一毛织株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过第一毛织株式会社授权不得商用。
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