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本发明提供了一种硅麦克风的制造方法，该方法是采用氧化硅作为支撑层的材料，这样可以把背板与支撑层固定连接的一端垫高，进而降低产品的寄生电容、提高绝缘电阻。...
该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声科技(新加坡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声科技(新加坡)有限公司授权不得商用。

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