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直字符线反或型闪存阵列的制作方法技术
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文档序号:6545484
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本发明公开了一种直字符线反或型(NOR)闪存阵列的制作方法,其是在反或型闪存阵列中的字符线完成后开始进行源极行的注入,且是在该反或型(NOR)闪存阵列的基板中形成平行于组件隔离结构的间断式注入区,每一间断式注入区使源极列与源极行上的源极接点...
该专利属于宜扬科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜扬科技股份有限公司授权不得商用。
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