下载一种抗电浪涌低压保护硅二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:6539091

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本发明公开了一种抗电浪涌低压保护硅二极管及其制备方法。它包括如下步骤:1)在P型硅单晶抛光片表面上扩散入N+型半导体杂质磷,得到PN+硅片;2)用电子化学清洗1#液和2#液清洗PN+硅片,经过纯水冲洗,将硅片甩干;3)在清洗后的PN+硅片上...
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