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一种工件台的垂向控制方法，根据FLS模块和LVDT模块的测量值经由驱动装置对所述工件台进行垂向控制。在对所述工件台上的硅片进行曝光时，根据所述LVDT模块的测量值来对所述工件台进行垂向控制，所述根据所述LVDT模块的测量值来对所述工件台进行...
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