温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种薄膜晶体管的制作方法，包括下列步骤：首先，提供一基 板。接着，于基板上形成一牺牲层。然后，于基板上形成一多晶硅图案层，以 围绕牺牲层。之后，形成一栅极绝缘层，至少覆盖多晶硅图案层。此外，于多 晶硅图案层上方的栅极绝缘层上形成一...
该专利属于中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中华映管股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。