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本发明涉及一种Si-SiC靶材，它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Si-SiC靶材，它的化学组分和重量配比是5-95%的Si、95-5%的SiC。本发明采用Si以及SiC为原料生产Si-SiC靶材，具有制作工艺简单、制作成本低、耐...该专利属于韶关市欧莱高新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韶关市欧莱高新材料有限公司授权不得商用。
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