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一种绒面结构BZO/HGZO复合薄膜及应用制造技术
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文档序号:6512598
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一种绒面结构BZO/HGZO复合薄膜,具有玻璃/绒面结构BZO/高电导率HGZO结构,其中BZO为B掺杂ZnO;HGZO为H化Ga掺杂ZnO;其制备方法是利用MOCVD技术和磁控溅射技术相结合生长高迁移率绒面结构BZO/高电导率HGZO薄膜...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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