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一种薄膜晶体管的制作方法。于一基材上形成一栅极、一源极以及一漏极。于基材上形成一栅绝缘层，以覆盖栅极并隔绝栅极与源极以及栅极与漏极。于栅绝缘层上形成一具有绝缘特性的金属氧化物材料层。于基材上形成一含氢的氮化硅层，以覆盖源极、漏极以及具有绝缘...该专利属于华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司授权不得商用。