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多光束激光外差测量距离的装置及采用该装置测量杨氏模量的方法制造方法及图纸
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文档序号:6490851
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多光束激光外差测量距离的装置及采用该装置测量杨氏模量的方法,涉及测试技术领域。本发明解决现有传统的外差干涉法存在的只能够得到单一的待测参数值的问题。本发明是基于激光外差技术和多普勒效应实现的,所述装置通过在光路中引入振镜,使不同时刻入射的光...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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