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微电子机械独立下拉电极式微波天线及其制备方法是一种结构非常简单,操作容易,方向性可调,且便于集成的微电子机械微波天线及其制备方法。该微电子机械微波天线以砷化镓为衬底,在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元,MEMS悬臂梁,悬臂梁桥墩,悬...
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