【技术实现步骤摘要】
本专利技术提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的独立下拉电极式微波天线，属于微电子机械系统的
技术介绍
天线作为无线电系统中不可缺少且非常重要的部件，其本身的质量直接影响着无线电系统的整体性能。尽管各种通信系统的任务不尽相同，但天线在系统中所起的作用大致是相同的。天线的任务是将发射机输出的高频电流能量(传导波)转换成电磁波辐射出去，或者是将空间电波信号转换成高频电流能量送给接收机。为了能良好的实现上述目的， 要求天线具有一定的方向性，较高的转换效率，能满足系统正常工作的频带宽度。近20多年来，随着MEMS技术的飞速发展，对MEMS悬臂梁结构进行了深入的研究，使得采用MEMS技术调节天线的方向性成为可能。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的是提供一种，通过MEMS悬臂梁技术调节天线的方向性，使得其操作简便，性能优良。技术方案本专利技术的微电子机械独立下拉电极式微波天线是以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线馈线、微波天线辐射元、MEMS悬臂梁、悬臂梁桥墩、悬臂梁下拉电极、 氮化硅介质层和聚酰亚胺牺牲层如图1所示，微波天线通过天线馈线接收待发射的微波信...
【技术保护点】
１．一种微电子机械独立下拉电极式微波天线，其特征在于该微波天线以砷化镓为衬底，在衬底（８）上设计有微波天线馈线（１）、微波天线辐射元（２），ＭＥＭＳ悬臂梁（３），悬臂梁桥墩（４），悬臂梁下拉电极（５），聚酰亚胺牺牲层（６），ＳｉＮ介质层（７）：微波天线采用的是八个相同的ＭＥＭＳ悬臂梁和八个对应相同的下拉电极，通过独立驱使八个相同的ＭＥＭＳ悬臂梁发生不同程度的形变可以实现调节微波天线方向性的目的；在ＧａＡｓ衬底（８）上设有天线辐射元（２），在天线辐射元（２）上设有悬臂梁桥墩（４），在悬臂梁桥墩（４）上设有ＭＥＭＳ悬臂梁（３），在ＭＥＭＳ悬臂梁（３）下面设有悬臂梁下拉天极（５）...
【技术特征摘要】
1.一种微电子机械独立下拉电极式微波天线，其特征在于该微波天线以砷化镓为衬底，在衬底(8)上设计有微波天线馈线(1)、微波天线辐射元0)，MEMS悬臂梁(3)，悬臂梁桥墩G)，悬臂梁下拉电极(5)，聚酰亚胺牺牲层(6)，SiN介质层(7)微波天线采用的是八个相同的MEMS悬臂梁和八个对应相同的下拉电极，通过独立驱使八个相同的MEMS悬臂梁发生不同程度的形变可以实现调节微波天线方向性的目的；在GaAs衬底(8)上设有天线辐射元O)，在天线辐射元(2)上设有悬臂梁桥墩G)，在悬臂梁桥墩(4)上设有MEMS悬臂梁 (3)，在MEMS悬臂梁C3)下面设有悬臂梁下拉天极(5)，在悬臂梁下拉电极( 上覆有SiN 介质层(7)，在MEMS悬臂梁C3)和SiN介质层(7)之间覆有聚酰亚胺牺牲层(6)。2.一种如权利要求1所述的微电子机械独立下拉电极式微波天线的制备方法，其特征在于制备方法为1)准备砷化镓衬底选用的是未掺杂的半绝缘砷化镓衬底；2)...
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