下载用于形成薄膜锂离子电池的方法的技术资料

文档序号:6434225

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一种用于形成锂离子型电池的方法,包括以下连续步骤:在衬底中形成沟道;相继且保形地沉积包括阴极集电极层、阴极层、电解质层、以及阳极层的层叠,该层叠具有的厚度小于所述沟道的深度;在所述结构上形成填充所述沟道中剩余的空间的阳极集电极层;以及平坦化...
该专利属于意法半导体(图尔)公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体(图尔)公司授权不得商用。

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