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平面高压晶体管的分压环的制造方法及其结构技术
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文档序号:6372967
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本发明提出了一种平面高压晶体管的分压环制造方法及其结构,其主结和分压环在不同的工序中形成,采用本方法形成的平面高压晶体管,分压环占用面积小,可以降低平面高压晶体管成本,分压环杂质浓度与外延浓度相近,可以确保在PN结反向偏压时分压环已耗尽,分...
该专利属于杭州士兰集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州士兰集成电路有限公司授权不得商用。
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