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本实用新型公开了一种多晶硅氢气还原炉的电路，涉及所述还原炉的启动电路，目的在于解决现有多晶硅氢气气氛下还原炉启动电路存在的操作过程复杂、不易控制或成本较高的问题，包括高压变压器及与之耦接的多组硅芯，所述高压变压器包括第一、第二变压器，多组硅...
该专利属于峨嵋半导体材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过峨嵋半导体材料研究所授权不得商用。

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