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本发明提供Ｘ线分析装置以及Ｘ线分析方法，能够以高作业效率、安全地进行试样测定。作为解决手段，使用了这样的Ｘ线分析装置，其特征在于，具有：放射线源，其向试样上的照射点照射放射线；Ｘ线检测器，其检测从试样放出的特性Ｘ线以及散射Ｘ线，输出包含特性...
该专利属于精工电子纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精工电子纳米科技有限公司授权不得商用。

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