下载蒸发源装置的技术资料

文档序号:6359801

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一种蒸发源装置,以在大面积的基板制作时,提高蒸镀物的均匀性及蒸镀材料的利用率。本发明的蒸发源装置包含一坩锅及一喷嘴盖体。该坩锅系容纳一蒸镀材料,借由加热该坩锅使该蒸镀材料的分子蒸发。而该喷嘴盖体设置于该坩锅的上方,具有一斜孔喷嘴及一直孔喷嘴...
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