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文档序号:6341773

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一种具备对被测量物照射沿一个方向延伸的线状光的出射光学系统和获得线状反射光的摄像元件的测量装置,根据线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状,具备:成像光学系统,设置在被测量物与摄像元件之间,使线状反射光成像于摄像元件...
该专利属于株式会社拓普康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社拓普康授权不得商用。

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