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本实用新型公开了一种用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置包括隔板Ａ和隔板Ｂ，所述隔板Ａ和隔板Ｂ设置在离子注入腔室与掺杂源腔室之间，所述隔板Ａ和隔板Ｂ相同，并可平行抽动；所述隔板Ａ和隔板Ｂ分布着若干个圆孔。通过抽动隔板装置可改变重合圆...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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