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本发明提供一种光刻胶组合物，所述组合物包含树脂，所述树脂包含由具有酸敏基团的化合物得到的结构单元和由式（ａ）所代表的化合物得到的结构单元：其中Ｒ１代表氢原子、卤素原子、Ｃ１－Ｃ６烷基或Ｃ１－Ｃ６卤代烷基，ｋ代表１－６的整数，Ｗ１代表Ｃ６－Ｃ...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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