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真空镀膜机热屏蔽装置，包括真空镀膜箱体、加热器、镜面反射板、支撑架，所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中并处于基片运行通道的上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的所述镜面反射板，所述镜面反射板之间及所述镜...
该专利属于湘潭宏大真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭宏大真空设备有限公司授权不得商用。

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