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本实用新型公开了一种避免ＰＶＤ腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，通过将被卡持板卡持在第一卡持部和第二卡持部之间，且第一卡持部和第二卡持部连接成闭合状，从而保护罩和ＰＶＤ腔室的观察窗口能够较好地匹配，进而较好地避免射频和热辐射的泄漏。此外，由于...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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